回收

首先使用真空泵對氣體回收裝置抽真空到133Pa以下，接著啟動冷凍機(jī)組，溫度達(dá)到5-10℃時啟動壓縮機(jī)。然后設(shè)備氣室中的SF6氣體被抽出，經(jīng)過壓縮、冷凝、過濾、干燥進(jìn)入儲罐。在儲罐中冷凍形成液態(tài)后保存。

充氣

首先使用真空泵對設(shè)備氣室抽真空至133Pa以下，待設(shè)備氣室內(nèi)真空度保持穩(wěn)定30分鐘后，調(diào)節(jié)減壓閥到0.1-0.7MPa左右（根據(jù)氣室要求），打開回充閥，貯存罐中的液態(tài)SF6氣自動減壓并汽化回充入設(shè)備氣室中，待設(shè)備氣室壓力達(dá)到規(guī)定值時視為完成。